苏州智德自动控制有限公司-气浮平台,直线运动平台, XYZ精密平台
欢迎访问苏州智德自动控制有限公司-气浮平台,直线运动平台, XYZ精密平台官方网站!

产品中心 更多+

苏州智德自动控制有限公司


PLMS精密直线电机平台

●特性Specification                                                              
  高分辨率:分辨率0.1um,重复精度1um,定位精度:2um
  高精度:直线
导轨,直线电机驱动、峰值速度:3m/s,匀速段速度波动低于0.1%
  高响应:特殊设计的镂空花岗石基座和航空铝连接构件,能够获得高加速度,保证平稳运行。

●应用Application                                                                
精密直线电机平台在晶圆光学和探针检测、视觉高精度检测、晶片封装、LED高度金属焊接、
激光加工、光学元
件耦合对心,平板显示器制造,曝光机高速移片,高速高精度机床。


尺 寸 及 技 术 参 数                                                                                                                                       

规格 PLMS-2-B-IR-0200-0200-G1
行程(mm) X200 ,Y 200,  R300 直线度(μm) X5   Y5
重复精度(nm) X±1  ,Y±1(分辨率0.1μm) X-Y垂直度(arc-sec) ±5
R轴重复精度(acr-sec) ±2.5 额定负载(kg) 10(MAX40)
最大加速度(m/s²) X15  Y9 X动负载(kg) 9.48
匀速速度(mm/s) 300 Y动负载(kg) 46.26
匀速段长度(mm) X186.5  Y177.5 总质量(kg) 72.8
工作周期(ms) X1000  Y1500 外观 黑色阳极
导轨类型 滚柱or滚柱线轨 基座材质 XY花岗
 

 


 

苏州智德自动控制有限公司

10余年以技术创新为生命,以品质求生存

 

全国咨询热线:18962121269

地址:苏州高新区滨河路625号创业大厦1号楼1楼

 苏ICP备13009932号-1

版权所有 苏州智德自动控制有限公司

网站地图2



微信扫一扫

关注及时信息



微信扫一扫

关注我们的及时信息

微信扫一扫

关注及时信息