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CESS伺服双驱龙门型

● 特性                                                                                                                        
    高精度:分辨率0.1uM 重复精度±1um  定位精度± 2um
    高速度:直线导轨,直线电机直驱,峰值速度3m/s,匀速段速度波动低于0.10%
    高响应:特殊设计的镂空花岗石基座和航空铝连接构件,获得高加速度,平稳运行

 ●伺服双驱龙门系统应用:                                                                                      
   晶圆加工,晶片封装,LED高速金属焊接,激光加工,平板显示器制造,曝光机高速移片,
  高速高精度机床,光学元件耦合对心等高速高精度的应用场合。
      





技术参数 Technical parameter                                           

规格 CESS-A-4-E-0300-0400-0100-G1
行程(mm) X300,Y1 Y2 400 ,Z100 直线度(μm) X8.Y8               
重复精度(μm) X±5,Y±5, Z±5(分辨率0.1μm) X-Y垂直度(arc-sec)         ±6                                
R轴重复精度(arc-sec) / 额定负载(kg) 30(MAX40)
最大加速度(m/s²  X200,Y400 丝杆类型 磨削
匀速速度(mm/s) 500 丝杆等级 C3
峰值速度 1500 总质量(kg) 72.8
传感器(ms) 标准 外观 黑色阳极
导轨类型 滚柱or滚柱线轨 基座材质 7075+大理石


 

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