苏州智德自动控制有限公司-气浮平台,直线运动平台, XYZ精密平台
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苏州智德自动控制有限公司

 气浮平台特征:
双驱五轴运动
采用激光干涉仪做位置反馈。定位精度与重复定位精度纳米级
最大速度1000mm/s
最大加速度:4G
最大负载:50KG
纳米级超精密气浮运动平台,可实现XY同步运动。
采用激光干涉仪作为位置反馈,实现纳米级定位精度与重复定位精度。


气浮平台应用:
满足高速、高加速、高精度产品的定制需求。
适用于科研、实验室、激光加工、晶圆检测、晶圆划片、等半导体行业



尺 寸 及 技 术 参 数                                                                                                                                       
规格 UPAS-2-D-IR-0200-0200-10
行程(mm) X200 ,Y1,Y2 200,R360º 直线度(μm) X2,Y2
重复精度(nm) X±50,Y±50(分辨率10nm) X-Y垂直度(arc-sec) ±3
R轴重复精度(acr-sec) ±2.5 额定负载(kg) 8(MAX30)
最大加速度(m/s²) X9.8,  Y9.8 X动负载(kg) 6.78
匀速速度(mm/s) 280 Y动负载(kg) 37.09
匀速段长度(mm) X182    Y182 总质量(kg) 102.6
工作周期(ms) X800  Y800 外观 黑色阳极
导轨类型 气浮 基座材质 花岗石
 
       




 

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