苏州智德自动控制有限公司-气浮平台,直线运动平台, XYZ精密平台
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苏州智德自动控制有限公司

UPAS超精密气浮平台

 特 性 Specification
 超高精密:分辨率10nm,重复精度50nm,定位精度:100nm
 超稳定性:花岗石机台,气浮导轨,直线电机驱动,匀速段速度波动低于0.05%
 高动态性:高加速度,高响应,静音平稳运行,同时保持长期优越的稳定性

  应 用 Application
 半导体制造、激光成像、平板显示器制造、激光切割、精密测量等高精度定位的场




尺 寸 及 技 术 参 数                                                                                                                                       

规格 UPAS-2-D-IR-0200-0200-10
行程(mm) X200 ,Y1,Y2 200,R360º 直线度(μm) X2,Y2
重复精度(nm) X±50,Y±50(分辨率10nm) X-Y垂直度(arc-sec) ±3
R轴重复精度(acr-sec) ±2.5 额定负载(kg) 8(MAX30)
最大加速度(m/s²) X9.8,  Y9.8 X动负载(kg) 6.78
匀速速度(mm/s) 280 Y动负载(kg) 37.09
匀速段长度(mm) X182    Y182 总质量(kg) 102.6
工作周期(ms) X800  Y800 外观 黑色阳极
导轨类型 气浮 基座材质 花岗石

       


 

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