苏州智德自动控制有限公司-气浮平台,直线运动平台, XYZ精密平台
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苏州智德自动控制有限公司

为提高定位机构的运动速度和定位精度由此设计出气浮导轨支撑的高速精密定位平台.


该平台采用了新型的气浮机构,使电机置于固定支座上,有效地减小了定位平台的运动惯量.
该平台在设定的条件下可快速趋于稳定
          
随着芯片的微型化,其 I/O 密度大幅度提高,引线间距却越来越小;然而更高的生产效率需求,对半导体IC封装速度也提出了苛刻要求.
因此,高速、高精密的气浮平台是行业所需是重要发展趋势,其工作频率将由 10~15,Hz 提高到 20~40,Hz,加速度将由 6g~12g 增加为 12g~20g, 而定位精度也将由 2~5 µm 提高到 1,µm 以下.

 

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