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   基于静压气浮轴承支承和直线电机驱动技术的超精细气浮定位任务平台,被广泛应用于半导体光刻、精细测量和生物医学等范畴是一种新型的精细运动机构,

   制约了传统上采用旋转电机和滚珠丝杠驱动方式所形成的传动环节多、响应慢以及存在非线性摩擦等缺陷,完成了微纳米级加工定位和疾速传输,
   当超精细定位平台的定位精度接近传统加工的极限时,其动力学特性难以满足高速运转时平台的波动性和疾速性要求。因而,本文对静压气浮轴承的支承刚度、空间地位结构对平台动力学特性的影响以及相应的优化办法停止了深化零碎的研讨,
   针对气浮支承刚度对定位平台动力学特性的影响,运用构造动力学对计算模型停止了气浮支承刚度动摇的参数变化进行修正,求解计算失掉了零碎的固有频率和狭义刚度与气浮支承刚度之间的变化关系。采用最小二乘法,提醒了气浮支承刚度动摇与平台固有频率之间的关系。基于气浮支承刚度变化对平台固有频率灵敏度的剖析,提出了气浮支承刚度的优化办法。 提出了局部网格的空间挪动技术,并对静压气浮轴承空间装置地位停止了优化研讨。当静压气浮轴承装置在不同地位时,平台前5阶固有频率的比值的极限顺次爲:6.0961、5.4736、1.9246、1.6210、1.0917和1.2972,并且减速度呼应的峰值具有分明的变化,最大的减速度呼应峰值比到达了10倍左右。 应用拓扑优化技术,展开了超精细气浮定位平台驱动臂局部的优化研讨。在停止动力学特性优化研讨进程中,发现了现有驱动臂的设计缺乏,提出了驱动臂的设计优化办法,处理了超精细气浮定位平台驱动臂局部的设计成绩。
  基于上述研讨效果对超精细气浮定位平台停止了动力学特性优化的实验研讨。当静压气浮轴承在确定地位和支承刚度到达70N/μm时,对实验模态剖析取得的平台固有频率,与无限元计算仿真后果停止比照剖析,最大绝对误差爲3.24%,验证了静压气浮轴承支承刚度参数设置的正确性;调理静压气浮轴承的供气压力,对超精细气浮定位平台的动力学特征随静压气浮轴承支承刚度变化的实验研讨,实验数据与仿真计算的后果停止比照剖析,两者具有很棒的分歧性。

苏州智德自动控制有限公司专业生产超精密气浮定位平台  www.zhide-ai.com

 

 

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