苏州智德自动控制有限公司-气浮平台,直线运动平台, XYZ精密平台
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苏州智德自动控制有限公司

苏州智德的纳米级精密气浮平台:
气浮平台特点:
运动先进的碳化硅机构。气浮轴承可实平面XY同步运动,运动激光干涉仪作为位置反馈。实现纳米级定位精度和重复定位精度。
气浮面为大理石表面。保证运动的平面度与稳定性
最大速度:1500mm/s 最大加速度:5g
最大负载:50KG

 
气浮平台可以选择主动和被动式隔离系统
气浮运动平台控制运动方案先进。效率更优
 

用途:
精密气浮平台满足客户纳米级精度尺度的产品定制要求。适用于激光光刻、激光直写光刻、光刻机等高端制造行业。
苏州智德自动控制有限公司专注于高端装备的科技型企业,为用户设计和制造高性能高精密的运动控制产品和整机装备。
公司产品用户已覆盖全国的工业企业、科研院所。

 

苏州智德自动控制有限公司

10余年以技术创新为生命,以品质求生存

 

全国咨询热线:18962121269

地址:苏州高新区滨河路625号创业大厦1号楼1楼

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