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苏州智德自动控制有限公司
苏州智德的纳米级精密气浮平台：
气浮平台特点：
运动先进的碳化硅机构。气浮轴承可实平面XY同步运动，运动激光干涉仪作为位置反馈。实现纳米级定位精度和重复定位精度。
气浮面为大理石表面。保证运动的平面度与稳定性
最大速度：1500mm/s 最大加速度：5g
最大负载：50KG
气浮平台可以选择主动和被动式隔离系统
气浮运动平台控制运动方案先进。效率更优
用途：
精密气浮平台满足客户纳米级精度尺度的产品定制要求。适用于激光光刻、激光直写光刻、光刻机等高端制造行业。
苏州智德自动控制有限公司专注于高端装备的科技型企业，为用户设计和制造高性能高精密的运动控制产品和整机装备。
公司产品用户已覆盖全国的工业企业、科研院所。
气浮平台特点：
运动先进的碳化硅机构。气浮轴承可实平面XY同步运动，运动激光干涉仪作为位置反馈。实现纳米级定位精度和重复定位精度。
气浮面为大理石表面。保证运动的平面度与稳定性
最大速度：1500mm/s 最大加速度：5g
最大负载：50KG
气浮平台可以选择主动和被动式隔离系统
气浮运动平台控制运动方案先进。效率更优
用途：
精密气浮平台满足客户纳米级精度尺度的产品定制要求。适用于激光光刻、激光直写光刻、光刻机等高端制造行业。
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苏州智德自动控制有限公司气浮平台 ，精密气浮平台
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